羅茨真空泵是一種旋轉式容積真空泵。其結構形式是由羅茨鼓風機演變而來的，它的結構和工(gōng)作(zuò)原理(lǐ)與羅茨鼓風機相似。于 1944 年首先出現于德(dé)國(guó)，是為(wèi)适應在 10 ～ 1000Pa 壓力範圍内具(jù)有(yǒu)大抽速的真空熔煉系統而作(zuò)為(wèi)機械增壓泵使用(yòng)。

根據羅茨真空泵工(gōng)作(zuò)壓力範圍的不同，分(fēn)為(wèi)直排大氣的低真空羅茨真空泵；中(zhōng)真空羅茨真空泵 ( 機械增壓泵 ) 和高真空多(duō)級羅茨真空泵。國(guó)内用(yòng)量最多(duō)的為(wèi)中(zhōng)真空羅茨真空泵 ( 以下簡稱羅茨真空泵 ) 。

羅茨真空泵是泵内裝(zhuāng)有(yǒu)兩個相反方向同步旋轉的轉子，轉子間、轉子與泵殼内壁間有(yǒu)細小(xiǎo)間隙而互不接觸。轉子具(jù)有(yǒu)良好的幾何對稱性，故振動小(xiǎo)，運轉平穩。泵腔内無需用(yòng)油密封和潤滑，摩擦損失小(xiǎo)，可(kě)大大降低驅動功率，實現較高轉速，同時可(kě)減少油蒸氣對真空系統的污染；泵腔内無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體(tǐ)中(zhōng)的灰塵和水蒸汽不敏感。

羅茨真空泵的特點是：啓動快，耗功少，運轉維護費用(yòng)低，抽速大、效率高，在100-1帕壓力範圍内有(yǒu)較大抽氣速率，能(néng)迅速排除突然放出的氣體(tǐ)，轉速可(kě)高達3450~4100轉/分(fēn)；抽氣速率為(wèi)30~10000升/秒(miǎo)。這個壓力範圍恰好處于油封式機械真空泵與擴散泵之間。因此，它常被串聯在擴散泵與油封式機械真空泵之間，用(yòng)來提高中(zhōng)間壓力範圍的抽氣量，即我們常說的機械增壓泵。

羅茨真空泵不可(kě)以單獨抽氣，前級需配油封、水環等可(kě)直排大氣。也就是說，在實際應用(yòng)中(zhōng)，羅茨真空泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精(jīng)度外，還取決于前級泵的極限真空。很(hěn)多(duō)客戶使用(yòng)被串聯的羅茨真空泵在前級泵剛啓動抽大氣時設置不啓動羅茨，此時啓用(yòng)羅茨效用(yòng)不明顯，沒有(yǒu)突顯羅茨真空泵的優勢。故一般電(diàn)控上設置羅茨真空泵在大氣壓下不啓動，當前級泵抽氣到一定限度的真空時，羅茨自動啓動。羅茨真空泵作(zuò)為(wèi)助力泵的優勢會凸顯出來，抽速上給予前級泵有(yǒu)力的支持。

羅茨真空泵作(zuò)為(wèi)前級泵的助力泵，選型時應遵循羅茨抽速比前級泵抽速至少快一倍但不超過10倍的範圍選擇。抽速比前級泵同級或更小(xiǎo)，羅茨泵就顯得“沒有(yǒu)力量”，沒有(yǒu)真正派上用(yòng)場；抽速比前級泵快10倍或以上，泵的負載相對增加，對泵的磨損大，沒能(néng)實現羅茨節能(néng)的效果，也是不可(kě)取的。使用(yòng)羅茨真空泵盡量控制羅茨泵的流量和揚程在标牌上注明的範圍内，以保證羅茨泵在最高效率點運轉，獲得最大的節能(néng)效果。